在之前的博客中，描述了扫描电镜（SEM）自动化分析是如何节省研究人员和操作员的宝贵时间。扫描电镜的操作者使用电镜的目的各不相同。这篇博客详细描述了扫描电镜（SEM）在自动化的激光损伤阈值测试（LIDT）中的应用。

扫描电镜（SEM）：自动化的激光损伤阈值测试

较强的激光会破坏光学器件，如镜面，光学涂层或纤维。为了选择合适的光学器件， 发现多大能量的激光会损害一个组件，或者*地改变其光学特性是十分重要的。

图一：光学涂层被激光损伤后的扫描电镜背散射（BSD）图片

为了确定准确的激光能量影响大小，需要进行激光损伤阈值测试。栅格图样中的光学器件暴露在具有不同强度和波长的激光中。在接触激光后，使用不同类型的光学显微镜和扫描电镜检查这些光学器件的损伤程度。网格包含数百个不同的点，每个点都必须检测。人工手动测试将需要消耗大量的时间。

如何自动获取每个点的图像

使用飞纳扫描电镜的可编程接口，创建一个脚本以自动获取每个点的图像。该脚本通过由激光创建的坐标列表来工作。然后，在两个特定坐标点上校准载物台，zui后，脚本将在特定的放大倍数中对每个点进行图像采集。

图2：LIDT扫描脚本的用户界面：小红点和绿点代表了光学涂层暴露在激光下。

所有的图像都存储在选定的文件夹中供用户检查。如果某个特定点需要进一步检查，那么，在用户界面上单击它就可以很容易地找到并进行分析。自动化操作为用户节省大量的图像采集时间。如今，用户只需要点击图像，检查是否存在损伤即可。