台式扫描电镜具备样品表面微观形貌观测和表面元素成分点、线、面分析，将电镜和能谱在生产环节集成在一台设备中，后期通过一个软件平台控制操作，用户只需要熟悉一个软件就能同时操控两项功能，也变得相对简单快速。

   台式扫描电镜是扫描电镜能谱行业的一个里程碑。亮度10倍于钨灯丝不仅使电镜能谱一体机提供高的台式扫描电镜分辨率，同时也使得表面元素分析更加准确快速。背散射电子图像用不同的灰度呈现出不同的元素配备的射线探头，定性半定量探测元素的点、线、面分布。

   台式扫描电镜具有飞纳系列全自动操作、15秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3年更换灯丝等特点，无需防震环境，可放置在任意楼层，能谱无外接部件，无需液氮冷却。台式扫描电镜较强的激光会破坏光学器件，如镜面，光学涂层或纤维。为了选择合适的光学器件， 发现多大能量的激光会损害一个组件，或者地改变其光学特性是十分重要的。

   在进行扫描电镜分析时，为了获得感兴趣区域佳的图像效果，必须考虑一些重要的参数。其中一个很重要的参数就是加速电压，它是加在电子枪的阴极和阳极之间，用来加速电子产生电子束的。台式扫描电镜加速电压的选择与样品的导电性、放大倍数及图片质量等因素有关。一般来说，加速电压越高，图像的分辨率越高。

   测试所用到的设备不同，所得结果的质量以及所遇到的挑战也就不同。当你用光学显微镜工作，你可以得到彩色的低倍数图片，但是这些图片往往分辨率比较低，而你使用更好的设备，例如台式扫描电镜，由于其利用电子成像，可以获得更高的图像分辨率和放大倍数，更大的图像景深，以及物体3D外部形状的可视化。但是，传统的扫描电镜非常昂贵，需要占用大量的空间，并且，操作员需要长时间的培训才能掌握。这就是台式扫描电镜出现的原因（替代传统的落地式扫描电镜）。