飞纳电子显微镜简称电镜，经过五十多年的发展已成为现代科学技术中*的重要工具，由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。

   飞纳电子显微镜技术的应用是建立在光学显微镜的基础之上的，光学显微镜的分辨率为0.2μm，透射电子显微镜的分辨率为0.2nm，也就是说透射电子显微镜在光学显微镜的基础上放大了1000倍。飞纳电子显微镜利用电子束感生电流EBIC进行成像，可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究，利用样品电流成像，结果可显示电路中金属层的开、短路，因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试 图形和薄膜电阻的导电形式。

   飞纳电子显微镜利用二次电子电位反差像，反映了样品表面的电位，从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况，特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。飞纳电子显微镜利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式)，晶体取向分布分析，基于晶体结构的相鉴定。

   飞纳电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成，镜筒主要有电子源、电子透镜、样品架、荧光屏和探测器等部件，这些部件通常是自上而下地装配成一个柱体。飞纳电子显微镜用来聚焦电子，是电子显微镜镜筒中重要的部件。

   光学透镜的焦点是固定的，而电子透镜的焦点可以被调节，因此电子显微镜不像光学显微镜那样有可以移动的透镜系统。现代飞纳电子显微镜大多采用电磁透镜，由很稳定的直流励磁电流通过带极靴的线圈产生的强 磁场使电子聚焦。电子源是一个释放自由电子的阴极，栅极，一个环状加速电子的阳极构成的。阴极和阳极之间的电压差必须非常高，一般在数千伏到3百万伏特之间。它能发射并形成速度均匀的电子束，所以加速电压 的稳定度要求不低于万分之一。

   观察的是这些每个点散射出来的电子，放在样品旁的闪烁晶体接收这些次级电子，通过放大后调制显像管的电子束强度，从而改变显像管荧光屏上的亮度，图像为立体形象，反映了标本的表面结构。显像管的偏转线圈与样品表面上的电子束保持同步扫描，这样显像管的荧光屏就显示出样品表面的形貌图像，这与工业电视机的工作原理相类似，由于这样的显微镜中电子不必透射样本，因此其电子加速的电压不必很高。