扫描电镜主要用于微观形貌分析，其测试结果的好坏，一方面是由仪器的性能、测试条件和操作人员水平决定，另一方面还与样品制备过程有关。

SEM样品需要保持清洁、无污染物，尽量把污染程度降到低。因此要求我们在拿取与制备样品时需要佩戴干净无粉手套，使用的剪刀、镊子等制样工具亦要保持干净。
 

保持 SEM 制样工具干净

如果在样品制备过程中，不注意保持清洁，用裸手拿取样品，手上的油脂灰尘会污染样品。如下图所示，裸手接触干净铝箔表面后，可以观察到明显的污染物。通过能谱面扫分析，发现污染颗粒主要成分为碳和氧，由此推断该污染物主要为油脂。

       干净铝箔表面                                                 裸手触摸过的铝箔表面

表面污染物能谱面扫结果分析

被裸手污染过的 SEM 样品会直接影响形貌和能谱测试结果，针对一些金相样品，如果表面被裸手触摸过，有明显油污和灰尘，放入扫描电镜观察前，先用乙醇等有机溶剂超声清洗，烘干处理后即可。

SEM 样品制备过程中，也需要防止唾液污染样品，必要时配戴口罩。当操作员对着样品说话或打喷嚏，会将唾液溅射到样品表面，待唾液干燥后，会在样品表面形成明显的结晶。

如 SEM 图片所示，唾液干燥后会在样品表面形成明显的结晶，亦会影响样品形貌和成分分析。这些晶体经能谱分析，其主要成分为氯、钾元素，含有少量纳、磷等元素。

不同放大倍数下唾液对样品的污染

唾液晶体能谱分析结果

样品保存过程中也要保持干净无尘，灰尘落到样品表面亦会影响电镜观察结果。因此样品不观察的时候，需要放置在干净的密封盒中，同时要求电镜放置环境干净无尘。

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灰尘颗粒对样品的影响

保持样品的清洁，就是保持 SEM 结果的准确性和可靠性。