成像系统和电子束系统均内置在真空柱中，真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。之所以要用真空，主要基于以下两点原因：电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。

   不仅可在真空下，还可在大气压下进行观察，含水样品也无需前处理即可直接观察，是目前市面上一款大气压模式下观测的扫描电镜，免去了了生物，食品，化妆品等样品复杂的前处理过程，同时还能观察样品的原始形貌。台式扫描电镜在成分分析方面主要有EDS能谱丶WDS波谱两种侦测器可以搭配，能谱分析速度较快，元素检测极限约1000~2000ppm。

   波谱分析速度较慢，但元素侦测极限较好，约在10~100ppm，成分分析分析方法上面有三种模式可以选择，奈米范围内微小区域成分分析，可以帮助使用者做特定区域的分析，可以观察扫描线段区域的成分变化。飞纳台式扫描电镜采用成熟的GEMINI光学系统设计，分辨率超过0.8nm，为您提供高分辨率和分析性能科研平台。

   台式扫描电镜直观便捷的四步工作流程可以快速成像、简化分析程序、提高工作效率。您会比以往更快、更多的获取数据。多种探测器的选择使Sigma500可以精准的匹配您的应用程序：您可以获取微小粒子、表面、纳米结构、薄膜、涂层和多层的图像信息。扫描电镜有较高的放大倍数，几万~几十万倍之间连续可调；有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；试样制备简单。 

   目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析，因此它是当今十分有用的科学研究仪器。扫描电镜由真空系统、电子光学系统、样品室和样品台、电子探测器、背散射电子探头、真空泵、自动稳压器、工具、计算机、操作软件及附件组成，主要用于材料科学、化学化工、生命科学以及相关领域的研究工作，对各种扫描电镜工产品、生物制品、非金属矿及深加工产品等进行观测。