扫描电子显微镜在继承了Phenom(飞纳)产品操作方便、30秒快速成优质图像、售后无忧等优点的同时,电镜分辨率和图像质量显著提高。采用了寿命高达1500小时的新一代CeB6灯丝和分辨率更高,功能更全的光学显微镜,提高后的光学显微镜有聚焦功能,放大倍数在20-120倍之间,具备明场和暗场两种模式。
扫描式电子显微镜的工作原理如下:
样品准备:待观察样品通常需要进行预处理,如表面平整化、金属涂覆等,以提高导电性并增强图像清晰度。
扫描:电子束在样品表面上进行扫描,从而激发出次级电子、反射电子(SE)和背散射电子(BSE)等。
电子源:SEM使用一台电子枪作为电子源,产生高能电子束。常用的电子源包括热阴极或场发射阴极。
透镜系统:电子束经过一系列电磁透镜的聚焦和控制,以获取所需的束斑直径和聚焦深度,从而控制样品的放大倍数和分辨率。
探测器:根据所采集到的次级电子、反射电子和背散射电子等信息,使用相应的探测器进行信号检测和转换。
影像处理:通过对采集到的信号进行放大、滤波和数字化处理,最终生成样品表面的图像。
扫描式电子显微镜在材料科学、生物学、纳米技术、电子电器工程等领域得到广泛应用。它可以用于研究材料的微观结构、形貌表征、纳米颗粒分析、故障分析、半导体芯片检测、生物标本观察等。