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分辨率和放大倍数,很容易被认为是考量扫描电子显微镜是否的一个硬性指标,这使得很多用户在购买电镜时往往只注重参数。但随着技术的成熟,各家仪器的极限分辨率都是大同小异的,并且在标准样品下很容易实现。这也是很多用户头疼的问题:我在买设备之前,考察仪器参数都是非常的;安装验收时,也能达到预期指标;但是,为什么日常使用的时候,效果经常差强人意呢?
分辨率是在一定的条件下对应一定的样品下实现的,比如3nm@30kv,一般都是需要对金颗粒的样品进行测量,但大部分样品没有金颗粒这么好;并且有很大一部分样品是经受不起30kv高压的,这就与设备的加速电压有着很大的关系,尤其是低加速电压下的分辨率,成为现阶段考验一台电镜的核心指标。
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