使用的飞纳电镜，荷兰VDL ETG公司正在探索清洁度提升的极限

在高科技行业中，组件的发展趋势是变得越来越干净，例如对于真空系统的组件。客户不能忍受哪怕是很小的灰尘颗粒。然而，为了去除它们，生产商必须首先发现它们。用的飞纳台式扫描电镜，可以探测到万分之一毫米的粒子。荷兰VDL ETG公司为了清洁晶元而购买了飞纳电镜。在常规正常生产中，也被证明是非常有用的。

研究清洁的方法

“如果客户的目标是追求越来越干净，那么我们就必须知道正在和他们讨论的是什么。”“知识就是力量”，Geert Jakobs说到。他是VDL ETG技术开发公司的总。他的公司，包括TNO和ASM Europe，正在一起参与一个欧洲研究项目，以研究开发新的晶圆清洁工艺。“我们需要更多地了解清洁产品的制造，为此，这个项目是一个不错的平台。”它是关于从组件表面去除微小的100纳米(一纳米是百万分之一毫米)的尘埃颗粒。

我们在这个项目中的目标是研究公司必须使用的生产方法。这些粒子非常小，以至于不能再用传统的技术看到它们（比如近紫外光直接检查）。因此，我们需要寻找一种方法来检测这些粒子，并确定它们的来源。

荷兰产品

VDL ETG购买了来自荷兰埃因霍温的飞纳台式扫描电镜。飞纳台式扫描电镜能谱一体机 Phenom ProX 不仅可以用来成像，还可以用其内置的能谱仪EDS进行化学元素分析。

技术Luuk Berkelaar说，正是飞纳电镜的技术指标和实际性能赢得了VDL ETG的青睐。“分辨率和放大倍数是对我们来说zui重要的参数。此外，利用元素分析可以确定粉尘颗粒的化学成分，从而可以追溯其根本原因。”此外，VDL ETG还购买了于测量和分类粉尘颗粒的颗粒统计分析测量系统，以及表面粗糙度的测定软件。

VDL ETG采购飞纳电镜的主要原因是什么呢。飞纳Phenom是一个荷兰产品确实很重要，但不是直接决定因素；竞争对手产品也同样被关注。特别重要的是的指标参数——以及另一种支持荷兰产品的观点——距离Phenom-World总部更近。

Berkelaar说到：“Phenom-World公司非常友好和开放，我们直接与了解产品技术的人员面对面交流”。来自VDL ETG的工作人员对电镜系统的工作和软件使用提供了非常好的反馈：还有什么扫描电镜可以稍微不同甚至更好？”

飞纳Phenom的优点是比它的竞争对手更紧凑，所以它可以被放置在一个标准的超净台里面(为了防止环境里的污染物进入。