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我们在使用普通光学透镜时,把光作为介质进行成像,通过玻璃透镜的折射偏转把光汇聚成“一点”来聚焦成像。扫描电镜使用的介质不是光,而是电子。虽然介质不同,但是与光学玻璃透镜一样,电镜也普遍存在像差问题,而这些各种各样的像差,正在背后悄悄地影响着电镜成像。
下面我们来了解一下各种像差产生的原因,以及如何减少像差对成像的影响。
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