在当今高科技行业中，精密离子研磨技术的进步对材料科学、半导体制造和纳米技术的发展至关重要。

作为行业引领者，Technoorg Linda 再次突破创新，在匈牙利首都布达佩斯刚刚结束的全球会议中正式发布了其最新产品 —— 离子研磨仪 SEMPREP SMART 与离子精修系统 Gentle Ion Beam（GIB），为全球用户带来更加高效、精确的解决方案。

复纳科学仪器（上海）有限公司作为 Technoorg Linda 在中国的d家合作伙伴，我们为客户提供产品培训、技术支持和售后服务。

当前在国内市场，Technoorg Linda 专注于引进并推广 SEM / TEM / FIB 样品制备系列设备。本次发布的新产品 SEMPREP SMART 离子研磨仪主要用于扫描电镜（SEM）样品制备，Gentle Ion Beam（GIB）精修离子束系统主要用于双束 SEM / FIB 系统中进行 FIB 样品制备后，对 TEM 样品进行zui终抛光和温和的表面清洁。

新产品 01

SEMPREP SMART 离子研磨仪 

SEMPREP SMART 配备了高能量和可选的低能量氩离子枪。用于扫描电子显微镜（SEM）和电子背散射衍射（EBSD）样品的最终加工和清洁。离子加工可以改进和清洁机械抛光的 SEM 样品，并为 EBSD 分析制备无损表面。该设备还适用于快速截面加工。为您制备高精度和高质量的样品，例如在半导体测试或锂离子电池隔膜的截面检查中均能实现出色的效果。

SEMPREP SMART

产品特点：

1.配方库-离线：基于我们长期的经验积累

• 先进的离子枪设计和自动化功能

  采用超高能离子枪，最高可达 16keV，带来更快的加工速率，更优异的加工效果。 

• 新型智能化操作软件 

  Technoorg Linda 的新产品在设计上充分考虑了用户的实际需求，开创性的将 AI 算法集成到系统中，使操作更加智能化，提供多种操作模式：

1.配方库-离线：基于我们长期的经验积累

2.自动配方生成 - 离线：基于简短问卷

3.Linda AI - 在线：实时搜索最佳解决方案，访问庞大数据库以获取最佳结果

高效，全面，智能化的理解用户需求，提供即时的反馈和解决方案

• 高分辨率数字相机

  在处理过程中用于样品观察 

• 全新的对位样品台

  在进行 90° 截面样品加工时带来更加精确的样品定位

• 可选的新型 LN2 冷却系统

  为用户带来更加高效及精确的长时间控温

使用氩离子束进行加工

• 平面加工模式

在样品倾斜角小于 10 ° 且连续旋转的条件下进行加工

Cu-7.5wt.%Al 的 EBSD 晶粒取向分布 (a) 和晶界类型 (b)

• 90° 截面加工模式

使用钛或玻璃挡板进行连续摇摆的截面加工

TFT 板的 90° 加工，位置精度为 ±1 微米                            加工点后方的 TFT表面细节           

新产品 02

GIB 精修离子束系统

Technoorg Linda 的精修离子束系统（GIB）适用于表面减薄、其他表面处理后的后处理、清洁以及去除无定形和氧化物表面层。当低能氩离子枪集成到扫描电镜中时，其作用尤为明显。有了集成离子枪，就可以在研究之前对样品进行精修。实现高质量样品的另一个重要应用是在双束 SEM / FIB 系统中进行 FIB 样品制备后，对 TEM 样品进行最终抛光和温和的表面清洁。

GIB 精修离子束系统

产品特点：

• 仪器控制单元

  电子元件、闭环冷却系统和氩气压力传感器均位于控制单元内。高纯度（99.999%）氩气用于供应离子源，其流量由高精度针阀调节。控制软件在 Windows 操作系统下运行，可以单独安装在一台计算机上，也可以安装在 SEM 的计算机上

• 可与扫描电镜集成

  带波纹管的传输系统可通过连接管安装到扫描电镜上。连接管输出法兰的尺寸与相应的 SEM 端口尺寸相匹配。通过线性传输系统提供离子源流动性，可实现理想的工作距离（15-30 mm）。

• 低能量氩离子枪

  低能量离子枪的直径和长度均为 50mm。氩离子束的能量范围：100keV - 2keV。2keV 时的最大束流为 70µA。离子束为宽束，FWHM 为 2mm。

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